NT系列机器人

NT系列无尘机器人设计的目的是让一个机器人可以伸展开来管护多达四个FOUP而不必使用线性轴。NT系列采用下一代设计，以400晶片每小时（WPH）的速率来搬运300mm或450mm晶圆，而没有使用校准器。

**的伸展距离

单个的NT系列手臂可以伸展到四个FOUP。选配的线性轴可以增加FOUP*多到五个。

高吞吐量

标准NT机器人的吞吐量是用校准器280晶圆每小时（WPH）与不用校准器400WPH。可用选配的抓手，增加吞吐量到700WPH。

SEMI F47合规

NT型号可以瞬时响应电波动，如电压下降，并且在电压恢复时自动恢复运行。

SEMI S2合规

NT型号可以满足对环境和人身安全的特殊考虑。

碰撞检测

软件和硬件组件都配备有碰撞检测功能，以减少碰撞所造成精密、专用设备的损坏。

悬挂式安装

NT620型号具有吊装规格设计，用于在化学液体环境中使用，同时满足ISO1级的要求。