NT系列机器人:
NT410 / NT510 单手臂
NT420 / NT520 双手臂
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新闻中心 川崎NT系列机器人 用于半导体、有机EL、LCD面板、太阳能面板
发布时间：2023-10-31 浏览次数：46 返回列表
NT系列无尘机器人设计的目的是让一个机器人可以伸展开来管护多达四个FOUP而不必使用线性轴。NT系列采用下一代设计，以400晶片每小时（WPH）的速率来搬运300mm或450mm晶圆，而没有使用校准器。
NT系列机器人:NT410 / NT510 单手臂 |
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